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超净实验室

研究院2018年完成了超净实验室装修工程、特气站配备及管道搭建等工作,2019年4月正式投入使用,万级洁净区域面积达1500平方米,实验室配套设备包括:(1)恒温恒湿系统;(2)超纯水系统;(3)特殊气体供给系统; (4)废水废气处理系统;(5)危化品储存场地等。

在实验设备配置方面,拥有MOCVD设备、MPCVD设备、钠流法设备、HVPE生长设备等材料生长设备。另外还配备了材料表征设备如XRD、PL、Hall等,满足材料生长测试要求。

mocvd
mpcvd
xrd
楼顶风冷热泵系统
楼顶酸碱排风系统
楼顶有机排风系统

理工联合实验室

2017年10月,研究院与东莞理工学院签订共建协议,在“东莞理工-北大光电研究院光电工程技术中心”的基础上,围绕第三代半导体器件,共建“第三代半导体器件联合实验室”开展科学研究、人才培养、科技创新、技术咨询、人员培训等合作。

东莞理工实验室
东莞理工实验室
东莞理工实验室
东莞理工实验室
东莞理工实验室
东莞理工实验室
恒温恒湿系统
超纯水系统
特殊气体供给系统
废水废气处理系统
危化品储存场地
第三代半导体器件联合实验室