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研究院2018年完成了超净实验室装修工程、特气站配备及管道搭建等工作，2019年4月正式投入使用，万级洁净区域面积达1500平方米，实验室配套设备包括：（1）恒温恒湿系统；（2）超纯水系统；（3）特殊气体供给系统； （4）废水废气处理系统；（5）危化品储存场地等。
在实验设备配置方面，拥有MOCVD设备、MPCVD设备、钠流法设备、HVPE生长设备等材料生长设备。另外还配备了材料表征设备如XRD、PL、Hall等，满足材料生长测试要求。
2017年10月，研究院与东莞理工学院签订共建协议，在“东莞理工-北大光电研究院光电工程技术中心”的基础上，围绕第三代半导体器件，共建“第三代半导体器件联合实验室”开展科学研究、人才培养、科技创新、技术咨询、人员培训等合作。
恒温恒湿系统超纯水系统特殊气体供给系统废水废气处理系统危化品储存场地第三代半导体器件联合实验室